modifizierte chemische Abscheidung aus der Gasphase
- modifizierte chemische Abscheidung aus der Gasphase
- modifikuotasis cheminis garinis nusodinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. modified chemical vapor deposition
vok. modifizierte chemische Abscheidung aus der Gasphase, f
rus. модифицированное химическое осаждение из паровой фазы, n
pranc. déposition chimique modifiée en phase vapeur, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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